Данный проект посвящен разработке автоматизированной установки спрей-пиролиза (УСП-3), созданной для напыления металлооксидных плёнок, толщиной от 10 нм. Металлооксидные плёнки в свою очередь могут быть использованы для создания солнечных элементов, дисплеев, сверхпроводников, газовых датчиков, мемристоров, метаматериалов и других полупроводниковых приборов. Принцип спрей-пиролиз предполагает распыления аэрозоля, полученного из раствора прекурсоров, на горячую подложку. Новизна нашей установки заключается в устройстве аэрографа (с помощью которого осуществляется создание аэрозоля). Наше решение имеет возможность напыления сразу нескольких материалов (до 3), что открывает широкие возможности для создания новых полупроводниковых приборов. Дополнительным нововведением будет высокая скорость перемещения каретки аэрографа (2000 мм/с), для повышения равномерности напыления. Описанные новшества позволят создать конкурентный продукт, для применения в промышленности и науке. Именно в разработке и создании конструкции вышеописанных узлов будет заключатся НИОКР. Данный проект занял второе место на

l Воронежском фестивале электроники, науки, робототехники от НИИЭТ, а также выиграл в программе "Студенческий стартап".

На страницу проекта