Комплекс на основе программируемого логического контроллера отечественного производства позволит управлять производственными установками микроэлектроники. Данные установки требуют контроля множества параметров на входе и выходе различных технологических процессов, таких как температурный режим большого количества компонентов системы, давление химических компонентов в реакторе, длительности импульсов напуска компонентов, управление системой вакуумирования и системой напуска буферных газов, управление системами ввода/вывода, системами индикации рабочих режимов и некоторых других.

В настоящее время использование программного обеспечения LabView привязывает отечественного пользователя к покупке дорогостоящих контроллеров и устройств ввода/вывода фирмы NI (США), что значительно повышает стоимость конечного продукта не учитывая стоимость разработки ПО.

Основные потребительские характеристики: контроль температурного режима (с помощью ПИД регулирования) - восемь каналов; контроль и индикация давления химических компонентов в реакторе - 1-760 мм.рт.ст. ; контроль длительности импульсов напуска компонентов >50 мс ; управление системой вакуумирования и системой напуска буферных газов; управление системами ввода/вывода и индикацией основных физических, системами индикации рабочих режимов.

На страницу проекта