Экспертные заключения: 0
Консультации: 0

Установка экспонирования для ультрафиолетовой литографии

Рассчитать оптическую систему экспонирования для ультрафиолетовой литографии. Установка, называющаяся степпер предназначена для создания рисунка на интегральных микросхемах способом экспонирования.

Ссылка

На страницу проекта

Направление

Наука

Сквозные технологии

Новые производственные технологии