Проект направлен на разработку технологического маршрута изготовления оптического волноводного переключателя типа 2х2, предназначенного для коммутации оптических информационных потоков, распространяющихся по одномодовым оптическим волноводам, в том числе по одномодовым оптоволокнам. Механизм переключения устройства основан на термической зависимости показателя преломления волновода. Минимизация тепловых потерь будет достигнута изоляцией терморегулируемых волноводных областей от теплопроводящих сред. Переключатель будет создаваться на основе кремниевых соединений по технологии, совместимой с КМОП технологическими процессами. В рамках проекта будет создана численная модель переключателя и разработан и отлажен технологический маршрут его изготовления. Результаты проекта в виде численной модели и законченного технологического маршрута найдут применение в качестве элемента библиотеки базовых интегрально-фотонных устройств для проектирования и изготовления одно- и много-элементных приборов и устройств в интегрально-оптическом исполнении. Приборы в таком исполнении являются системообразующими в перспективных устройствах телекоммуникации и управления.

Разработана первичная модель оптического переключателя на основе интерферометра Маха-Цендера и делителями на основе геомтерии многомодового интерферометра. Подготовлена топология устройства, включающая волноводнй слой, окна подволноводного травления, слой электрический цепи. Расчётная потребляемая мощность переключателя составляет 5 мВт. В рамках задела подготовлены и защищены патенты "Устройство модового конвертера" (патент на изобретение № 2712985) и "Оптомеханический вибрационный микродатчик" (ХХХХ)

На страницу проекта