Разработка технологии и конструкции теплового МЭМС-сенсора с расширенными функциональными возможностями на основе структуры кремний на изоляторе
Цель проекта – разработка электронной компонентной базы для создания отечественных высокочувствительных неохлаждаемых приемников ИК-диапазона на основе МЭМС-технологии и актуальных физико- технических, физико-химических и физико-технологических научных исследований.
Производитель: ООО "ЛИВ МОС ИНЖИНИРИНГ"
Ссылка
Направление
Другое
