Фокусные электроэрозионные микротехнологии
Целью проекта является разработка новой методики обработки материалов. Данная методика базируется на технологии электроэрозионной обработки (ЭЭО). Использование в роли электрода микроигл, острие которых может иметь радиус вплоть до нескольких десятков нанометров, позволяет получать структуры соответствующего размера.
Реализация проекта включает следующие задачи:
1)Создание платформы тестирования ЭЭО с использованием микроигл и микроштампов
2)Создание станка с ЧПУ и обратной связью
Ожидаемые результат - создание MVP, работающего в масштабе от нескольких десятков нанометров до нескольких десятков сантиметров, с возможностью дальнейшего масштабирования.
Технология будет полезна для областей, где точности фрезеровки уже не достаточно, а литография не удовлетворяет скоростью производства и объемам деталей: изготовление антенной и СВЧ техники, микроэлектроники, МЭМС. метаматериалы.
Технология будет востребована в наукоемких и высокоточных производствах, а также для научных целей.
