Предложено устройство измерения, включающее электронный блок и микроскоп состоящий из станины с расположенной на ней электронной пушкой, камеры образцов, спектрометра энергетической дисперсии, спектрометра волновой дисперсии, турбомолекулярного насоса для создания высокого вакуума, датчика вакуума, ручки привода блока апертур, ручки привода детектора обратно отраженных электронов. Кроме того электронный блок, электронный блок, датчик вакуума, спектрометр волновой дисперсии, блок управления и турбомолекулярный насос оснащены свинцовыми экранами радиационной защиты от исследуемого радиоактивного образца, размещенного на рабочем столике микроскопа, кроме того ручка привода блока апертур оснащена двумя электрическими приводами для перемещения апертур по двум взаимно перпендикулярным направлениям в одной плоскости, а ручка привода детектора обратно отраженных электронов оснащена электрическим приводом и зубчатой ременной передачей.