Технология изготовления термоэлектрического анемометра с применением магнетронного распыления — это высокотехнологичный процесс, позволяющий создавать миниатюрные, быстродействующие и высокоточные датчики скорости потока. Эта технология особенно востребована в аэрокосмической промышленности, энергетике и метеорологии, где требуется измерять параметры газовых потоков в экстремальных условиях.

Термоэлектрический анемометр работает на основе эффекта Зеебека: в замкнутой цепи, состоящей из двух разнородных проводников, возникает электродвижущая сила, если места их соединений (спаи) находятся при разных температурах .

В классической конструкции такого анемометра один спай (холодный) находится при известной температуре, а второй (горячий) обдувается потоком газа. Скорость потока определяют по количеству тепла, которое газ уносит от горячего спая. Измеряя изменение напряжения, можно рассчитать скорость потока.

Применение магнетронного распыления для изготовления такого датчика решает ключевую задачу: позволяет с высокой точностью наносить сверхтонкие (от десятков нанометров до нескольких микрон) пленки термоэлектрических материалов на различные подложки, создавая миниатюрные чувствительные элементы с отличной адгезией и воспроизводимыми свойствами.

На страницу проекта