Разработка программы-тренажера, позволяющей сформировать компетенции и навыки использования высоковакуумных криогенных насосов при эксплуатации современных технологических установок, предназначенных для процессов осаждения тонкопленочных покрытий и процессов прецизионного травления микроструктур в производстве изделий микро и наноэлектроники.

На страницу проекта