Цель проекта: Разработка плазменного широкоапертурного источника низкоэнергетичных потоков ионов для прецизионных технологий атомно-слоевого травления материалов электронной техники.

Задачи проекта:- Разработка цифровой модели конструкции широкоапетурного плазменного источника ионных потоков 

- Разработка и испытание численной модели широкоапертурного источника низкоэнергетичных потоков ионов для технологии АСТ

- Разработка лабораторного макета широкоапертурного источника низкоэнергетичных потоков ионов для технологии АСТ

- Проведение испытаний широкоапертурного источника низкоэнергетичных потоков ионов для технологии АСТ 

Ожидаемый результат: Широкоапетурный источник потока низкоэнергетичных ионов дляпрецизионных аддитивных технологий АСТ

На страницу проекта