Аннотация НИОКР Тема НИОКР: Разработка конструкции и технологии групповой герметизации микрообъемов кристаллов Актуальность НИОКР: В настоящее время финансовый объём мирового рынка устройств, собранных по технологии бондинга пластина-пластина (WLP), оценивается 3 млрд.$ и ожидается рост до 5 млрд.$ к 2025 году. Необходимость проведения НИОКР доказывается нижеперечисленными проблемами, которые будут решены в результате выполнения проекта: - значительные габариты конструкции после герметизации; -отсутствие автономного неразрушающего способа контроля герметизации; -значительная длительность процесса формирования вакуумной атмосферы и техническая сложность и/или невозможность достижения ультранизкого уровня значения давления в микрообъёме. В данном проекте предлагается апробировать и модернизировать современное решение по герметизации, активно применяющиеся передовыми мировыми компаниями. Технология WLP (wafer level packaging) для герметизации микрообъёмов кристаллов используется ведущими мировыми фирмами TSMC, Intel, Samsung. Данный подход поможет значительно сократить размеры корпуса, т.к. дополнительные кристаллы, выполняющие роль корпуса, будут сопоставимы и/или идентичны по размерам с кристаллами Заказчика. Повышение точности совмещения в процессе бондинга будет достигаться за счёт использования массивов «канавка-выступ». Автономный неразрушающий контроль уровня вакуумной атмосферы будет осуществляться посредством применения канала для передачи давления и тестового кристалла с тонкоплёночной мембраной. Длительность (стабильность) уровня вакуумной атмосферы будет осуществляться посредством применения материалов с модифицированной кристаллической структурой и дополнительно тестироваться методикой ускоренных испытаний в процессе выполнения проекта. Заполнение сквозных канавок металлом в кристаллах будет осуществляться с помощью инновационного технологического подхода расплавления оловянных микробампов. Цель НИОКР: Разработка конструкции и технологии групповой герметизации микрообъемов кристаллов Задачи НИОКР: Критический анализ литературных источников, посвященных процессу бондинга для герметизации микрообъёмов кристаллов. Разработка конструкции, технологии с последующем изготовлением, программы и методик и проведение исследовательских испытаний тестового кристалла с тонкоплёночной мембраной. Разработка конструкции, технологии с последующем изготовлением, программы и методик и проведение исследовательских испытаний канала передачи давления. Разработка конструкции, технологии с последующем изготовлением, программы и методик и проведение исследовательских испытаний тестовых герметичных структур. Ожидаемые результаты НИОКР: По результатам выполнения проекта будут разработаны, изготовлены и исследованы тестовые герметичные структуры, включающие в себя кристаллы Заказчика, тестовый кристалл с тонкоплёночной мембраной, канал для передачи давления.

Производитель: ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНЫЕ МИКРОСИСТЕМЫ"

IT