В настоящее время атомно-силовая микроскопия (АСМ) получился серьезное распространение для исследований широкого круга объектов. Чувствительным элементом АСМ является специальный зонд (кантилевер), он также является расходным материалом, поскольку в ходе эксплуатации необратимо теряет свои основные свойства, а именно остроту иглы и\или аспектное соотношение, что приводит к необратимой потере разрешающей способности метода. Проблема устраняется путем замены кантилевера на новый. Расход кантилеверов при интенсивной эксплуатации микроскопа доходит до нескольких сотен штук в год. Сам кантилевер представляет собой микромеханическое изделие – упругую кремниевую балку с острием на конце, укрепленную на полупроводниковой пластине-чипе. В промышленности такие зонды получают по стандартной полупроводниковой технологии литографии и селективного травления. Однако, данная стандартная технология не лишена недостатков. Одним из основных факторов, определяющих качество специального зонда, является радиус закругления острия. Типичный радиус закругления острия кантилевера, изготовленного по вышеуказанной технологии, составляет около 20нм. Это значение определяет предельное разрешение любого АСМ, использующего такие кантилеверы. Для достижения более высокой разрешающей способности необходимо использовать кантилеверы с меньшим радиусом острия и аспектным соотношением. Актуальной является модификация кантилеверов для атомно-силовой микроскопии для получения более высокого пространственного разрешения. Другой технологией модификации стандартных зондов является нанесение тонких пленок металлов на острие. Кантилевер с таким функциональным покрытием позволяет реализовывать электрофизические методики в сканирующие зондовой микроскопии, такие как электро-силовую микроскопию, метод зонда Кельвина, магнитно-силовую микроскопию, распределение сопротивления растекания и др. Как правило, серийно такие зонды производятся в крайне ограниченных количествах, к тому же в номенклатуре представленных на рынке зондов присутствует ограниченный набор напыленных металлов. Интерес исследователей вызывает возможность проведения поляризационных измерений с субволновым пространственным разрешением на базе ближнепольной оптической микроскопии с ипользованием кантилеверов с апертурой, поскольку при засветке образца в ближнепольной режиме, можно регистрировать оптические характеристики с субволновым пространственным разрешением. Предлагается разработка методов модификации кантилеверов для атомно-силовой микроскопии с изготолвнием опытных образцов.

Производитель: ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "ФОРТА"

Другое