Дифракционный способ измерения линейного размера объекта
Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для измерения линейного (поперечного) размера различных объектов, например, микропроволоки или волокна, зазоров или щелей, микроотверстий и экранов круглой формы с микронными размерами, а так же взвесей микрочастиц или биологических взвесей. Задача - существенное уменьшение влияния на результат измерения размера объекта неравномерности распределения амплитуды облучающего поля в плоскости измеряемого объекта.
