Разработка технологии прототипирования топологических компонентов электроники методом лазерной деметаллизации
Традиционные методы производства СВЧ-структур, основанные на химическом травлении, характеризуются высокой стоимостью, длительным циклом изготовления (от 24 часов) и технологическими ограничениями. Ключевыми недостатками являются геометрические искажения проводников («боковой подтрав»), ухудшающие электрические характеристики, а также необходимость использования токсичных реагентов и фотошаблонов. Любая ошибка на этапе проектирования влечет за собой полную переделку оснастки, что увеличивает риски разработки.
Данный проект предлагает альтернативный подход: прямое формирование топологии СВЧ-устройств методом селективного лазерного испарения металла. В отличие от химических процессов, предлагаемая технология позволяет переходить от чертежа к готовому прототипу за считанные минуты, исключая «боковой подтрав» и повреждение диэлектрической подложки. Результатом является создание доступного и гибкого инструмента для быстрого прототипирования компонентов электроники.
