Вилка микроразъёма представляет собой набор выступов, выполненных из материала основания вилки, представляющей собой пластину монокристаллического кремния, имеющей кристаллографическую ориентацию в направлении кристаллографической плоскости {!00}, в виде усеченных равнобочных четырехгранных пирамид, боковые грани которых представляют из себя семейство кристаллографических плоскостей {!00}, . Они сформированы в виде равнобедренных трапеций на поверхности пластины монокристаллического кремния и конструктивно выполнены как единое целое с пластиной. Указанные выступы размещаются в сквозных отверстиях гибкой печатной платы, выполненной из плакированного медью полиимидного носителя. Металлизированная шина печатной платы имеет толщину 8—12 мкм. Один из ее концов сформирован на поверхности полиимидного носителя и представляет собой кольцевую проводящую область, покрытую слоями легкоплавкого припоя, которые вместе с металлизированными покрытиями выступов вилки образуют электрический контакт. Другой конец металлизированной шины заканчивается контактной площадкой, предназначенной для обеспечения коммутации элементов схемы.

Розетка микроразъёма представляет собой набор углублений, выполненных в объеме материалы основания розетки, представляющей собой пластину монокристаллического кремния, имеющей кристаллографическую ориентацию в направлении кристаллографической плоскости (!00), в виде усеченных равнобочных четырехгранных пирамид, боковые грани которых представляют из себя семейство кристаллографических плоскостей {!00}, Они сформированы в виде равнобедренных трапеций конструктивно выполнены как единое целое с пластиной и конформно повторяют форму и геометрические размеры выступов вилки. Боковые грани и основание выступов и впадин покрыты слоями поликристаллического кремния наноразмерного уровня (менее 100 нм), функциональное назначение которых сводится к формированию демпфирующего слоя (спейсера), облегчающего процессы совмещения объёмных элементов контактирования во время формирования надежного элемента контактирования. На поверхности указанных нанослоёв размещены слои диэлектрического материала, например, слоёв диоксида кремния толщиной порядка 0,6 -1,0 мкм. На поверхности слоёв диоксида кремния сформирован металлизированные слои проводящего материала, например, меди толщиной не менее 1,5 - 3,0 мкм, верхняя поверхность которых покрыта слоями легкоплавкого припоя на основе олова и индия толщиной порядка 0,1 - 0,5 мкм

Указанные углубления розетки размещаются непосредственно под сквозными отверстиями гибкой печатной платы, выполненной из плакированного медью полиимидного носителя. Металлизированная шина печатной платы имеет толщину 8 —12 мкм. Один из ее концов сформирован на поверхности полиимидного носителя и представляет собой кольцевую проводящую область, покрытую слоями легкоплавкого припоя, которые вместе с металлизированными покрытиями углублений розетки образуют электрический контакт. Другой конец металлизированной шины заканчивается контактной площадкой, предназначенной для обеспечения коммутации элементов схемы. Шаг размещения выступов вилки и шаг размещения углублений розетки совпадают с точностью, которая обеспечивается точностью воспроизведения критичного размера топологического рисунка при литографической обработке.

Во время стыковки вилки и розетки в силу того, что боковые поверхности объемных элементов контактирования (выступы на поверхности розетки, углубления в объеме материала розетки) сформированы с использованием одних и тех же приемов и методов групповой обработки обеспечивается самопозиционирование и самосовмещение элементов конструкции.

На страницу проекта