Инновационные зондовые датчики для сканирующей ближнепольной оптической микроскопии (СБОМ), разработанные нашей командой, применяются при проведении научных исследований в области материаловедения, нанофотоники, интегральной оптоэлектроники, структурной биологии, исследовании тонких пленок, квантовых точек, в производстве полупроводниковых материалов и наноэлектронике и др. Применение разработанных зондовых датчиков для СБОМ позволит повысить эффективность и точность исследований, направленных на создание новых типов функциональных материалов и структур. Результаты этих исследований являются основой разработки различных изделий из композитных и полупроводниковых материалов, которые востребованы в ядерной, авиационной и транспортной отраслях. Также с использованием методики СБОМ проводятся исследования в сфере наук о жизни, медицины, биологии. Исследования наноструктур с помощью зондовой микроскопии относятся к прорывным технологиям в квантовой физике и информатике, нанофотонике и наноэлектронике.

Технологической основой проекта является использование сочетания современных теоретических и экспериментальных методов, обеспечивающих с помощью ионно-стимулированного осаждения материалов из газовой фазы методом фокусированных ионных пучков формирование апертурных зондовых датчиков для СБОМ. Разработанная технология позволяет сформировать острие зондового датчика с параметрами исполнения, изменяемыми в широком диапазоне значений, для высокоточной нанодиагностики поверхности.

На страницу проекта