Манипулятор для перемещения полупроводниковых пластин
Изобретение относится к области робототехники, в частности к манипуляторам для перемещения полупроводниковых пластин. Манипулятор содержит основание с установленным на нем подшипниковым узлом с коаксиально расположенными в корпусе внутренним валом и внешним валом, привод, руку, состоящую из плеча, локтя и кисти, на концах которой расположено не менее одного держателя пластин. Изобретение обеспечивает повышение точности позиционирования.
